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MC012系列表面輪廓粗糙度測(cè)量?jī)x(2207)

MC012系列表面輪廓粗糙度測(cè)量?jī)x

MC012系列(2207

一、2207型表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

  2207型表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x包括粗糙度測(cè)量系統(tǒng)、原始輪廓測(cè)量系統(tǒng)、波紋度測(cè)量系統(tǒng)、直線(xiàn)度測(cè)量系統(tǒng),可測(cè)量平面、圓柱面、深槽、曲面的表面粗糙度、波紋度、原始輪廓和直線(xiàn)度參數(shù),還可測(cè)量工件表面微觀(guān)輪廓的水平和垂直距離。

二、2207型表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x主要技術(shù)指標(biāo):

1.測(cè)量原理:垂直方向:觸針?lè)ǎ姼袀鞲衅鳎?SPAN lang=EN-US>

      水平方向:光柵傳感器;

2.測(cè)量范圍:垂直400μm,水平100mm

3.表面粗糙度示值誤差:≤±5%;

 輪廓度示值誤差:垂直≤0.25%,水平≤0.004%;

4.最小分辨力:垂直0.6 nm,水平1μm;

5.取樣長(zhǎng)度:0.080.25,0.82.5,8mm

6. 評(píng)定長(zhǎng)度:N倍取樣長(zhǎng)度,N=1,23,4,5;

7. 數(shù)字濾波器:高斯、2RCPC、不濾波;

8.粗糙度測(cè)量參數(shù):Ra,Rc,RpRv,RzRq,RsmRt,Rsk,RkuRdq,Rmr;

 波紋度測(cè)量參數(shù):Wa,WcWp,WvWz,Wq,WsmWt,WskWku,WdqWmr;

 原始輪廓測(cè)量參數(shù):Pa,Pc,PpPvPz,Pq,Psm,PtPsk,Pku,Pdq,Pmr

 直線(xiàn)度測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量參數(shù):|X2-X1|,|Y2-Y1|

9.輪廓圖形的垂直放大倍率:最大100000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大;

 輪廓圖形的水平放大倍率:最大50000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大;

10.驅(qū)動(dòng)箱滑行長(zhǎng)度:100mm;

11.驅(qū)動(dòng)速度:0.1,0.2,0.5,0.81.0mm/s;

  返回速度:1.5mm/s;

12.傳感器返回形式:手動(dòng),自動(dòng);

13.基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線(xiàn)性:1μm/100mm;

14.傳感器測(cè)針:金剛石圓錐,錐角90°,針尖半徑2μm;

15.立柱結(jié)構(gòu):快慢速機(jī)動(dòng)升降系統(tǒng),自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位;

16.立柱垂直測(cè)量高度:290mm;

17.工作底臺(tái):460mm×620mm大理石平臺(tái);